Electronic Chemicals G4 hidrofluoro rūgštis (puslaidininkinė šlapioji cheminė medžiaga)

Electronic Chemicals G4 hidrofluoro rūgštis (puslaidininkinė šlapioji cheminė medžiaga)

Dokumento peržiūra: 01
Išleidimo data: 2026-09-02
Taikomas standartas: SEMI G4 klasė (puslaidininkinis ultra{1}}aukšto grynumo šlapias chemikalas)

Produkto identifikavimas

 

Prekė

Specifikacija

Produkto pavadinimas

G4 vandenilio fluorido rūgštis (HF)

Produkto kategorija

Puslaidininkinė elektroninė šlapioji chemija

Cheminis pavadinimas

Vandenilio fluorido rūgštis

Cheminė formulė

HF

CAS Nr.

7664-39-3

Molekulinė masė

20.01

JT numeris

1790

Įvertinimas

SEMI G4 Ultra{1}}Aukšto grynumo elektroninė klasė

 

Produkto apžvalga

 

G4 hidrofluoro rūgštis yra didelio -grynumo fluoro- pagrindu pagaminta neorganinė rūgštis, skirta pažangiai puslaidininkinių plokštelių gamybai ir mikroelektronikos gamybai. Taikant kelių{4}}pakopų ultra-valymą, filtravimą be korozijos- ir 1000 klasės švaraus-patalpos užpildymo technologiją, gaminyje yra itin-mažai metalų pėdsakų, anijoninių priemaišų ir mikro{10}}dalelių, visiškai atitinkantis griežtus tarptautinius SEMI G4 standartus.

 

Kaip pagrindinė selektyvaus ėsdinimo ir valymo šlapioji cheminė medžiaga puslaidininkių priekiniuose{0}}galų procesuose, ji pasižymi puikiu silicio oksido sluoksnių ėsdinimo selektyvumu, o silicio substratams ir nitrido plėvelėms daroma minimali žala. Griežta priemaišų kontrolė veiksmingai išvengia mikro-užteršimo ir plokštelių defektų, todėl užtikrinamas didelis derlius ir ilgalaikis stabilumas pažangiems lustų gamybos procesams.

 

Išvaizda:Bespalvis, skaidrus ir skaidrus lakus skystis

 

Techninės specifikacijos (SEMI G4 standartas)

 

Bandomasis elementas

Specifikacija

HF tyrimas

48,5–49,5 masės %

Išvaizda

Bespalvis ir skaidrus skaidrus skystis

Spalva (APHA)

Mažiau arba lygus 5

Tankis @ 20 laipsnių

1,15 ~ 1,18 g/cm³

Garavimo likutis

Mažiau nei arba lygus 30 ppb

Atskiri metalų pėdsakai (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr)

Mažiau arba lygus 10 ppb kiekvienas

Fluzilicinė rūgštis (H₂SiF₆)

Mažiau arba lygus 10 ppm

Sulfatas (SO₄²⁻)

Mažiau nei arba lygus 30 ppb

Nitratas (NO₃⁻)

Mažiau nei arba lygus 30 ppb

Chloridas (Cl⁻)

Mažiau nei arba lygus 30 ppb

Dalelės Didesnės arba lygios 0,2 μm

Mažiau arba lygus 100 vnt/ml

 

Pastaba:Visi bandymo duomenys yra pagrįsti konkrečiu partijos{0}}COA (analizės sertifikatu).

 

Taikymas (puslaidininkinis šlapias procesas)

 

Vaflių natūralaus oksido pašalinimas:Selektyviai pašalinkite natūralų silicio oksido ir oksido likučius nuo silicio plokštelių paviršių, nepažeisdami silicio pagrindo, optimizuodami paviršiaus būklę nusodinimo, litografijos ir ėsdinimo procesams.

Tikslus selektyvus ofortas:Naudojamas smulkiam SiO₂ dielektrinių sluoksnių, vartų oksido sluoksnių ir plonų plėvelių sluoksnių ėsdinimui IC gamyboje, pasižymi dideliu ėsdinimo vienodumu ir puikiu proceso valdymu, kad būtų užtikrintas tikslus rašto perdavimas.

RCA šlapio valymo procesas:Naudojamas kaip pagrindinis modifikuotų RCA valymo tirpalų komponentas, pašalinantis mikro-daleles, jonines priemaišas ir organinius likučius nuo plokštelių paviršių, pagerinant bendrą plokštelių švarą.

Išplėstinis pakavimas ir MEMS procesas:Taikoma MEMS įrenginių, puslaidininkių jutiklių ir pažangių lustų pakavimo komponentų paviršiaus apdorojimui, mikro{0}ėsdymui ir priemaišų šalinimui, pritaikyta prie aukšto-tikslumo mikroelektronikos gamybos reikalavimų.

 

Pakavimo ir užpildymo standartas

 

Pakuotės tipas:Korozijai -atsparus PTFE-pamušalas / švarus- HDPE sandarus būgnas, speciali HF cheminė pakuotė

Bendra specifikacija:25 kg / 30 kg mažas būgnas, 1000 kg korozijai{3}}atsparus IBC krepšys

Užpildymo aplinka:1000 klasės švari patalpa, visiškai nerūdija{1}}gamybos ir užpildymo sistema, nulis antrinio užteršimo

Sandarinimo standartas:Speciali anti-laki ir nepraleidžianti{1}} sandari konstrukcija, griežtai apsaugo nuo lakiųjų nuostolių ir išorinio užteršimo

 

Laikymas ir galiojimo laikas

 

● Laikyti vėsioje, sausoje, vėdinamoje fluoro cheminių medžiagų sandėlyje, sandariai uždarytą, atokiai nuo tiesioginių saulės spindulių, aukštos temperatūros ir šilumos šaltinių.

● Griežtai izoliuokite nuo stiklo gaminių, šarminių medžiagų, oksidantų ir metalinių medžiagų, kad išvengtumėte cheminės korozijos ir netinkamos reakcijos.

● Uždrausti ilgalaikį{0}}laikymą atviroje vietoje, kad išvengtumėte nepastovios gedimo ir užteršimo dėl drėgmės sugėrimo.

● Galiojimo laikas:12 mėnesių standartinėmis sandariomis laikymo sąlygomis

 

Tvarkymas ir saugos atsargumo priemonės

 

● Vandenilio fluorido rūgštis yra labai ėsdinanti ir laki. Operatoriai turi dėvėti profesionalias pagalbines AAP: fluorui{1}}atsparias pirštines, visiškai uždarus cheminius akinius, korozijai{2}}atsparų prijuostę ir apsauginius drabužius.

● Visos operacijos turi būti atliekamos profesionaliuose garų gaubtuose; vengti įkvėpti lakiųjų dujų ir tiesioginio sąlyčio su oda, akimis ir gleivinėmis.

● Skiedimo ir dozavimo metu lėtai įpilkite rūgšties į dejonizuotą vandenį; niekada nepilkite vandens į koncentruotą vandenilio fluorido rūgštį, kad išvengtumėte purslų ir nelaimingų atsitikimų.

● Atsitiktinio sąlyčio ar nuotėkio atveju nedelsiant imkitės specialių pirmosios pagalbos{0}}priemonių ir griežtai laikykitės SDS neatidėliotino šalinimo gairių.

● Išsamią pavojingumo klasifikaciją, transportavimo taisykles ir pirmosios pagalbos{0}} procedūras rasite oficialiame SDS dokumente.

 

Kokybės užtikrinimas

 

Kiekviena G4 vandenilio fluorido rūgšties partija gaminama, išvaloma ir tikrinama griežtai laikantis SEMI G4 tarptautinių puslaidininkių standartų. Kiekviena siunta pridedama su partijos-konkretaus oficialaus COA. Visame gamybos ir užpildymo procese taikoma griežta švaraus-patalpos užterštumo kontrolė ir korozijai{6}}atsparus proceso valdymas, užtikrinantis itin-aukštą grynumą ir stabilią kokybę, atitinkančią griežtus pažangių puslaidininkių drėgnos gamybos procesų reikalavimus.

 

Populiarus Žymos: elektroniniai chemikalai g4 vandenilio fluoro rūgštis (puslaidininkinė šlapioji cheminė medžiaga), Kinijos elektroniniai chemikalai g4 vandenilio fluoro rūgštis (puslaidininkių šlapioji cheminė medžiaga) gamintojai, tiekėjai, gamykla

Siųsti užklausą